非接触式镜面间隔测量技术取得新突破

2026-07-15

研发团队在非接触式镜面间隔测量算法上取得突破，重复精度提升至亚微米级，可稳定测量更薄的光学元件与更小空气间隔。该成果已应用于新一代间隔测量仪，并通过多家客户现场验证，测量稳定性获得一致认可。